规范用词激光辅助等离子体分子束外延
英文翻译laser assisted plasma molecular beam epitaxy
名词定义在分子束外延生长中，利用准分子脉冲激光烧蚀高熔点氧化物靶，使氧化物沉积到衬底上生长薄膜的技术。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 半导体材料制备
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年