规范用词低压金属有机化合物气相外延
英文翻译low pressure metalorganic vapor phase epitaxy;LP-MOVP
名词定义在小于100Pa的压力下，进行金属有机化合物气相外延的工艺。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 半导体材料制备
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年