规范用词立式反应室
英文翻译vertical reactor
名词定义气流垂直地流向衬底表面的化学气相沉积或气相外延生长的反应室。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 半导体材料制备
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年