规范用词金属有机化合物气相外延
英文翻译metal-organic vapor phase epitaxy
名词定义利用金属有机化合物进行金属组分输运，在半导体单晶衬底上沿确定晶向生长单晶薄层的工艺。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 半导体材料制备
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年