规范用词基座
英文翻译susceptor
名词定义在反应室内能被加热并将热量传递给衬底的承载体。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 半导体材料制备
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年